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　　等离子体诊断技术是随着等离子体科学的进展而发展起来的。20世纪初，开始观测宇宙等离子体。20年代，为了研究气体放电，开创了实验室等离子体诊断。从50年代起，在受控热核反应和空间技术研究的推动下，等离子体诊断的研究进入全盛时期。

　　等离子体诊断的测量范围：

　　同一种等离子体参量可用不同的测量方法测量，以便相互印证。各种测量方法有其不同的适用范围，如测量离子温度的方法有线光谱的多普勒宽度、电磁波的集体散射、高能中性粒子能谱分析、聚变中子测量等方法。一般高温时可用中性粒子或中子测量来测定离子温度，低温低密度时可用多普勒宽度来测定离子温度，低温高密度时可用集体散射方法来测出离子温度。

　　等离子体诊断是集物理学和技术科学为一体的技术。通过对等离子体物理过程的理解来确定要测的等离子体参量并选定适用的测量方法；测得的结果又需要用等离子体物理知识加以分析，揭示测量结果所反映的物理现象。